【无为法】在五位百法中，第五位法是无为法。《百法明门论》：‘第五无为法，略有六种，一、虚空无为，二、择灭无为，三、非择灭无为，四、不动无为，五、想受灭无为，六、真如无为。’无为法，是前四位法的真实法性，故称为识实性，即第五实性唯识。在五位法中，六位心所为识之相应，称相应唯识。十一种色法为识之所缘，称所缘唯识。二十四种不相应行，是识之分位，称分位唯识。而无为法是识之实性，故称实性唯识。